真空淬火炉的原理是在真空状态下将工件加热到淬火温度。当需要冷却时，首先将氮气引入炉内启动风扇，然后在空气正常运行后将气体送入炉内，通过换热器冷却，空气通过风管送风，工件淬火。
真空淬火炉采用双室或三室卧式结构，配有液压驱动或电机驱动的卧式操作和垂直提升机构，翻板或插入板的热真空分区，石墨或镍铬带加热体，全碳毡保温屏，冷却室可选用2巴压力冷却，真空度可根据需要选择10-1pa-10-5Pa。可进行常压渗碳或脉冲渗碳，渗碳速度快，渗碳层质量好，可进行深度渗碳。电气控制系统的主要控制仪表和部件均为进口产品，可实现自动化运行。
