在使用真空炉过程中经常会出现电器故障，主要表现在温度异常，包括温度过高报警，或者真空炉显示的温度达不到设定值。
温度过高报警故障解除方法：
1.首先要检查所在工作区温控器参数是否正常，参考其他正常使用中的温控器并仔细校对所有工作的参数。
2.根据电路图检查相应工作区的固态继电器输出端是否被击穿，主要方法如下：停电后，用万用表电阻档测量固态继电器输出端两点之间的电阻，正常时，电阻会有几兆欧以上，如果被击穿，则几乎没有电阻，必须换上一个新的同型号的产品。
3.在通电开机时，工作人员应该用手轻摇相应工作区内的热电偶探头，看看所对应的温控器显示是否跳动幅度很大，如果有，则说明热电偶探头接触不良，需更及时更换新的部件。
真空炉显示的温度偏低达不到设定值:
1.同样，首先检查所在工作区温控器的参数是否正常，在工作时是否有输出信号。
2.检查所对应工作区的热电偶是否受损，为了验正这些热电偶是否良好，可将它们跟正常温控器上的热电偶互换接到温控器上，观察温度显示情况。如果确实是热电偶损坏，必须更换。
3.如果温控器、热电偶都没问题，则需要测验发热管是否正常通电工作。方法：通电开机后，启动加热，根据电路图，直接用试电笔测试对应工作区的发热管连接的导线(在固态的输出端上白色高温线即是)，看是否有电到。如果有电到达，要用钳表测量一下电流是否与其他工作区的差别。
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