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气相沉积炉装备的主要配置如下：
炉门：侧开门，台车装出料
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：石墨保温
加热器：石墨或钼加热体
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计：进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
PLC：霍尼韦尔DCS控制器、西门子PLC、欧姆龙PLC
控温：霍尼韦尔DCS控制器、日本导电仪表、霍尼韦尔仪表、欧陆仪表
热电偶：WRW-2300或红外
电器元件：天正/正泰/施耐德/西门子
气相沉积炉装备的规格：
气相沉积炉装备的图片：
