真空渗硅炉装备的主要配置：
装料方式：升降式装出料或上装料
炉壳：真空壳体为耐高温不锈钢
保温层：石墨
加热器：感应加热
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计：进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
PLC：霍尼韦尔DCS控制器、西门子PLC、欧姆龙PLC
控温：霍尼韦尔DCS控制器、日本导电仪表、霍尼韦尔仪表、欧陆仪表
热电偶：红外或热偶型
电器元件：天正/正泰/施耐德/西门子
真空渗硅炉装备的图片：
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